紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

簡要描述：紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

產(chǎn)品型號：Gasboard-2061
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新日期：2025-09-02
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產(chǎn)品分類

Product classification

氣體傳感器

揚(yáng)塵傳感器/檢測儀風(fēng)扇/鼓風(fēng)機(jī) CO2變送器甲烷傳感器電池?zé)崾Э?/a> 可燃?xì)怏w安全監(jiān)測傳感器電化學(xué)CO傳感器 SF6傳感器甲醛檢測儀二氧化碳傳感器粉塵傳感器甲醛&VOC傳感器檢測儀&集成模組醫(yī)用氧傳感器汽車電子微型紅外傳感器氧/氮氧傳感器

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詳細(xì)介紹

紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號：Gasboard-2061

紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計(jì)，便于集成

紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)