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半導(dǎo)體行業(yè)微量氧分析儀的自主研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新

一、半導(dǎo)體制造中氧監(jiān)測的重要性與難點(diǎn)在半導(dǎo)體制造過程中,氧污染會(huì)引發(fā)不必要的氧化反應(yīng),導(dǎo)致集成電路和硅片產(chǎn)生缺陷,進(jìn)而破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性,嚴(yán)重影響產(chǎn)品的均勻性與可靠性。因此,半導(dǎo)體制造商必須對(duì)工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控,即便是微量氧氣(低至ppm級(jí))也可能顯著損害元件性能。目前,半導(dǎo)體工藝氣體中的氧監(jiān)測主要面臨以下技術(shù)難點(diǎn):需實(shí)現(xiàn)10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環(huán)境下的持續(xù)氧濃度監(jiān)測;需在還原性氣氛中確保設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行。在眾多氣體檢測技術(shù)中,氧...

  • 2020

    6-11

    根據(jù)“兩會(huì)”期間公布的2020年政府工作報(bào)告,今年要實(shí)現(xiàn)單位國內(nèi)生產(chǎn)總值能耗和主要污染物排放量繼續(xù)下降;深化重點(diǎn)地區(qū)大氣污染治理攻堅(jiān);要打好藍(lán)天、碧水、凈土保衛(wèi)戰(zhàn),實(shí)現(xiàn)污染防治攻堅(jiān)戰(zhàn)階段性目標(biāo)。2020年是打贏藍(lán)天保衛(wèi)戰(zhàn)、“十三五”規(guī)劃的全面收官之年,我國大氣污染治理進(jìn)入攻堅(jiān)“深水期”,剩下的都是難啃的“硬骨頭”。作為一直以來的重點(diǎn)和難點(diǎn),揚(yáng)塵污染治理已然成為大氣污染防治目標(biāo)完成與否的關(guān)鍵點(diǎn)之一。揚(yáng)塵治理,需對(duì)癥下藥;而把脈問診,監(jiān)測為先。高性能的揚(yáng)塵傳感器對(duì)實(shí)現(xiàn)揚(yáng)塵全面監(jiān)測...

  • 2020

    6-10

    新法規(guī)規(guī)定,汽車尾氣排放分析儀應(yīng)至少能自動(dòng)測量HC、CO、CO2、NO、O2五種氣體濃度。在檢測方法上也發(fā)生了較大的變化:一是規(guī)定原來的電化學(xué)法測量NOx的原理不再適用,必須用光學(xué)法原理測量;二是柴油車增加了NOx的檢測。如何準(zhǔn)確測量NOx?新標(biāo)準(zhǔn)的出臺(tái)直接影響著NOx的測量,光學(xué)檢測原理有非分光紅外(NDIR)、微流NDIR、非分光紫外(NDUV)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS),原理不同測量的精度和結(jié)果也不同。除了檢測原理不同外,還有兩種測量方式的區(qū)別:一種是直接測量...

  • 2020

    6-10

    汽車尾氣排放分析儀是在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),對(duì)汽車排放的尾氣進(jìn)行檢測、分析,從而判斷汽車發(fā)動(dòng)機(jī)是否工作正常、排出的有害氣體是否超出標(biāo)準(zhǔn)的一種儀器。作為機(jī)動(dòng)車尾氣檢驗(yàn)以及維修機(jī)構(gòu)的核心設(shè)備,這種儀器的質(zhì)量和性能直接影響到對(duì)汽車尾氣排放超標(biāo)進(jìn)行檢查的效率和效果。因此,獲得具有法定效力的計(jì)量認(rèn)證證書是產(chǎn)品應(yīng)用于市場的重要前提條件。隨著新的汽車尾氣排放檢測法規(guī)《汽油車污染物排放限值及測量方法(雙怠速及簡易工況法)》GB18285-2018和《柴油車污染物排放限值及測量方法(自由加速法...

  • 2020

    3-25

    新的在用車環(huán)保法規(guī)GB18285-2018和GB3847-2018于2019年5月1日正式實(shí)施。新法規(guī)中尾氣檢測方法發(fā)生了較大的變化:一是規(guī)定原來的電化學(xué)法測量NOx的原理不再適用,必須用光學(xué)法原理測量;二是柴油車增加了NOx的檢測。受此影響,各地的機(jī)動(dòng)車尾氣檢測站迎來了尾氣分析儀更新?lián)Q代的高潮。國內(nèi)的氣體分析儀表制造商——四方光電(武漢)儀器有限公司,基于自身的技術(shù)優(yōu)勢迅速開發(fā)出了滿足新國標(biāo)的尾氣分析儀,適用于汽油車和柴油車。針對(duì)HC、CO、CO2,沿用經(jīng)典的NDIR原理。...

  • 2019

    10-24

    本文重點(diǎn)介紹了轉(zhuǎn)爐煤氣干法除塵技術(shù)的應(yīng)用現(xiàn)狀,應(yīng)用過程中存在的問題以及應(yīng)用措施。通過對(duì)轉(zhuǎn)爐煤氣發(fā)生泄爆的工藝機(jī)制研究,優(yōu)化蒸發(fā)冷卻塔的設(shè)計(jì),從而提高煤氣、蒸汽回收效率,實(shí)現(xiàn)利用能源,節(jié)能減排的目的。轉(zhuǎn)爐煤氣的除塵技術(shù)可以分成干法和濕法兩種,其中,爐煤氣干法除塵技術(shù)的應(yīng)用,能夠有效地提高能源轉(zhuǎn)換效率、達(dá)到節(jié)約新水、節(jié)能減排的目的。同時(shí),它能夠極大地降低水資源的消耗,減少煤氣的排放,并對(duì)蒸汽進(jìn)行回收再利用,是現(xiàn)代實(shí)現(xiàn)能源轉(zhuǎn)換的關(guān)鍵技術(shù)。所以,在轉(zhuǎn)爐煤氣除塵過程中應(yīng)用越來越廣泛。在...

  • 2019

    10-24

    在轉(zhuǎn)爐吹煉的過程中會(huì)產(chǎn)生大量的一氧化碳?xì)怏w和氧化鐵粉塵,而CO的含量基本接近于90%,熱值比較高,因而轉(zhuǎn)爐煤氣的回收利用越來越得到重視。煤氣回收條件在進(jìn)行轉(zhuǎn)爐煤氣時(shí)前提條件是要具備相應(yīng)的回收條件,這樣才能使用在線氣體分析系統(tǒng)確保煤氣回收的質(zhì)量。因此在煤氣回收的過程一氧化碳的在煤氣中的含量要大于30%,氧氣的含量要小于1%,在這樣的條件下才能進(jìn)行有效、安全的回收,所以在煤氣回收之前進(jìn)行必要的氣體含量檢測。相反在回收之前檢測到的煤氣一氧化碳含量小于30%,氧氣含量大于1%這種條件...

  • 2019

    10-24

    轉(zhuǎn)爐在線氣體分析系統(tǒng)一般安裝在ID風(fēng)機(jī)后,該設(shè)備在使用過程中一旦出現(xiàn)故障,將影響到轉(zhuǎn)爐煤氣能否回收,直接左右轉(zhuǎn)爐負(fù)能煉鋼指標(biāo),影響煉鋼的成本。但在線氣體分析系統(tǒng)在使用過程中卻又不可避免的會(huì)出現(xiàn)各類問題,所以解決這些出現(xiàn)的問題則顯得必要而迫切。1在線氣體分析系統(tǒng)的功能轉(zhuǎn)爐冶煉產(chǎn)生的煙氣中含CO,CO2,O2等成分,通過在線氣體分析系統(tǒng)對(duì)煙氣中的CO、CO2、O2等含量進(jìn)行分析,再選擇CO含量、O2含量合格的煙氣進(jìn)行回收利用,將大大降低煉鋼的成本。在線氣體分析系統(tǒng)一般由預(yù)處理采樣...

  • 2019

    10-23

    在轉(zhuǎn)爐的過程中吹煉會(huì)產(chǎn)生大量的CO氣體和氧化鐵粉塵,而CO的含量基本接近于90%,熱值比較高。當(dāng)今人們對(duì)轉(zhuǎn)爐煤氣回收利用越來越重視,且轉(zhuǎn)爐煤氣回收技術(shù)也在不斷發(fā)展和提高。采用先進(jìn)的轉(zhuǎn)爐煤氣成分分析系統(tǒng)更利于煤氣回收,近年來紅外技術(shù)的應(yīng)用,在實(shí)際應(yīng)用中也具有一定的安全性和可靠性。紅外煤氣成分及熱值分析儀Gasboard-3100在轉(zhuǎn)爐煤氣回收中的應(yīng)用紅外煤氣成分及熱值分析儀Gasboard-3100在風(fēng)機(jī)前安裝煤氣成分分析系統(tǒng),以便在進(jìn)行轉(zhuǎn)爐煤氣回收的過程中,監(jiān)測煤氣管道中的C...

  • 2019

    10-23

    煤氣在線分析儀在煤氣化行業(yè)氣體監(jiān)測我國是以煤炭為主要一次能源的國家,一次能源消費(fèi)中煤炭的占比達(dá)到62%。但我國的煤炭利用技術(shù)總體上是落后的,在煤炭的轉(zhuǎn)化利用過程中普遍存在效率低、污染嚴(yán)重等問題。隨著能源問題的日益突出,潔凈煤技術(shù)越來越多地應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn)過程中,其中大規(guī)模煤氣化、煤氣化多聯(lián)產(chǎn)技術(shù)成為了煤炭綜合應(yīng)用的主要方向之一。近年來紅外煤氣分析儀越來越多地應(yīng)用于實(shí)際煤氣化煤氣分析當(dāng)中,本文將結(jié)合煤氣分析儀Gasboard-3100在不同領(lǐng)域的實(shí)際應(yīng)用,幫助大家更好的了解煤氣分...

  • 2019

    10-23

    焦?fàn)t煤氣在進(jìn)入靜電除塵設(shè)備之前,需要分析焦?fàn)t煤氣含氧量,因?yàn)殪o電除塵設(shè)備中的焦?fàn)t煤氣含氧量達(dá)到一定程度時(shí)會(huì)引發(fā)爆炸事故,從而損壞設(shè)備和造成人身傷害,所以對(duì)焦?fàn)t煤氣中的含氧量分析及監(jiān)控極為重要。筆者將就煤氣分析系統(tǒng)在靜電除塵工藝中的應(yīng)用進(jìn)行探討。1.煤氣靜電除塵技術(shù)煤氣除塵技術(shù)在我國已經(jīng)較為成熟,其方法也多樣,本文主要探討的是煤氣靜電除塵。其工藝原理為:含有粉塵顆粒的氣體,在接有高壓直流電源的陰極線(又稱電暈極)和接地的陽極板之間所形成的高壓電場通過時(shí),由于陰極發(fā)生電暈放電、氣...

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