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半導(dǎo)體行業(yè)微量氧分析儀的自主研發(fā)與技術(shù)創(chuàng)新

一、半導(dǎo)體制造中氧監(jiān)測的重要性與難點在半導(dǎo)體制造過程中,氧污染會引發(fā)不必要的氧化反應(yīng),導(dǎo)致集成電路和硅片產(chǎn)生缺陷,進(jìn)而破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性,嚴(yán)重影響產(chǎn)品的均勻性與可靠性。因此,半導(dǎo)體制造商必須對工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導(dǎo)體工藝氣體中的氧監(jiān)測主要面臨以下技術(shù)難點:需實現(xiàn)10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環(huán)境下的持續(xù)氧濃度監(jiān)測;需在還原性氣氛中確保設(shè)備安全穩(wěn)定運行。在眾多氣體檢測技術(shù)中,氧...

  • 2022

    7-19

    汽車尾氣排放分析儀是在汽車發(fā)動機正常運轉(zhuǎn)時,對汽車排放的尾氣進(jìn)行檢測、分析,從而判斷汽車發(fā)動機是否工作正常、排出的有害氣體是否超出標(biāo)準(zhǔn)的一種儀器。作為機動車尾氣檢驗以及維修機構(gòu)的核心設(shè)備,這種儀器的質(zhì)量和性能直接影響到對汽車尾氣排放超標(biāo)進(jìn)行檢查的效率和效果。因此,獲得具有法定效力的計量認(rèn)證證書是產(chǎn)品應(yīng)用于市場的重要前提條件。隨著新的汽車尾氣排放檢測法規(guī)《汽油車污染物排放限值及測量方法(雙怠速及簡易工況法)》GB18285-2018和《柴油車污染物排放限值及測量方法(自由加速法...

  • 2022

    6-24

    前言:隨著新能源鋰電池、半導(dǎo)體、生物制藥、液晶面板等領(lǐng)域的快速發(fā)展,對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度提出了更高的要求,有效控制潔凈室空氣中的塵埃粒子濃度至關(guān)重要。按照國家相關(guān)規(guī)定,潔凈室在設(shè)計、建造以及交付運行以后,都需要對其性能和合理性進(jìn)行綜合評價分析。那么,企業(yè)為了滿足生產(chǎn)條件搭建符合標(biāo)準(zhǔn)要求的潔凈室環(huán)境,該如何實現(xiàn)對塵埃粒子的監(jiān)測呢?以往客戶僅在項目驗收時采用手持式塵埃粒子計數(shù)器針對作業(yè)廠區(qū)內(nèi)相關(guān)區(qū)域進(jìn)行潔凈度檢測,而工程驗收合格投入使用后,則只會定期安排人工進(jìn)行抽查巡檢,這樣的做法...

  • 2022

    4-26

    暗藏在湖底的危機圖1、非洲盧旺達(dá)基伍湖盧旺達(dá)的基伍湖風(fēng)景如畫,被譽為“非洲大湖”之一。基伍湖北側(cè)有一座活火山,數(shù)千年的火山活動導(dǎo)致甲烷和二氧化碳大量積累溶解在基伍湖深處。科學(xué)家認(rèn)為基伍湖看似平靜,卻危險重重,大約有3000億立方米的溶解二氧化碳、600億立方米的甲烷以及含有有毒的硫化氫潛藏湖底。這些溶解的氣體隨時可能以湖沼噴發(fā)的形式爆炸性地釋放,一旦爆發(fā),不僅會釋放致命的二氧化碳,還可能引起甲烷爆炸,引發(fā)災(zāi)害。圖2、基伍湖分層深水區(qū)示意圖湖底甲烷變身可持續(xù)能源對周邊人口及國家...

  • 2022

    4-20

    一、背景隨著我國機動車保有量的增加,大氣污染正在向工業(yè)燃煤污染與機動車排氣污染復(fù)合型發(fā)展,機動車排氣污染對顆粒物和氮氧化物的貢獻(xiàn)率較大。特別是柴油貨車和非道路機械的排放,對我國環(huán)境空氣質(zhì)量的影響日益凸顯,成為我國污染治理的重中之重。圖1:2018年污染物排放對比圖數(shù)據(jù)來源:《移動源環(huán)境管理年報(2019)》為了控制非道路移動機械污染,國家出臺了《柴油貨車污染治理攻堅戰(zhàn)行動計劃》,對柴油貨車、非道路移動機械的污染防治工作進(jìn)行了統(tǒng)一的部署和規(guī)劃。對于柴油貨車,明確要求:(1)加大...

  • 2022

    4-18

    激光粉塵傳感器是利用激光散射原理,對空氣中存在的粉塵顆粒物進(jìn)行探測,具有良好的選擇性、穩(wěn)定性。ZH03激光粉塵傳感器模組具有數(shù)字輸出和模擬輸出,方便使用,可廣泛應(yīng)用于便攜式儀表、空氣質(zhì)量監(jiān)測設(shè)備、空氣凈化機、新風(fēng)換氣系統(tǒng)、空調(diào)、智能家居設(shè)備等場所。激光粉塵傳感器的結(jié)構(gòu)和電路相對雜亂。其光源為激光二極管。采樣或鼓風(fēng)機推進(jìn),通過雜亂規(guī)劃的風(fēng)道,進(jìn)行檢測。當(dāng)空氣中的細(xì)顆粒物進(jìn)入激光束所在區(qū)域時,將使激光發(fā)作散射;散射光在空間360°都有輻射,咱們在適當(dāng)位置放置光電探測器,使之只接收...

  • 2022

    4-13

    在第一臺激光器誕生60多年后的今天,隨著激光光源、探測技術(shù)、實驗裝置和數(shù)據(jù)處理等各方面技術(shù)的飛躍發(fā)展,激光光譜技術(shù)作為微觀感知領(lǐng)域的核心技術(shù),已經(jīng)成為物理、化學(xué)、生物、環(huán)境以及天文學(xué)等領(lǐng)域中研究光與物質(zhì)相互作用的重要手段,從實驗室基礎(chǔ)研究到各領(lǐng)域應(yīng)用第一線都扮演著重要的角色。拉曼光譜技術(shù)早有布局,突破工業(yè)過程氣體分析技術(shù)瓶頸在工業(yè)過程氣體監(jiān)測領(lǐng)域,傅里葉紅外(FITR)、質(zhì)譜(MS)、氣相色譜(GC)等原理的氣體分析儀各有優(yōu)點。傅里葉紅外技術(shù)一個氣室很難適合不同的量程,也無法...

  • 2022

    4-2

    近日,由于上海某隔離酒店使用了回風(fēng)+新風(fēng)混合進(jìn)行空氣調(diào)節(jié),全建筑通風(fēng)系統(tǒng)僅一個通風(fēng)道,導(dǎo)致病毒通過空氣循環(huán)在公共空間內(nèi)傳播,多人交叉感染,引發(fā)大家關(guān)注。疫情當(dāng)下,新風(fēng)系統(tǒng)的運行狀態(tài)不容忽視,從公共建筑,到家居環(huán)境,四方光電用傳感守護(hù),讓您的一呼一吸更加舒適、健康、智能!室內(nèi)空氣品質(zhì)大多數(shù)人超過90%的時間在室內(nèi)度過,室內(nèi)空氣品質(zhì)與人類健康的相關(guān)性日益明顯。場所內(nèi)人員的活動造成CO2濃度持續(xù)升高,高濃度二氧化碳對人體造成的危害不容小覷。節(jié)能降碳綠色發(fā)展在“碳達(dá)峰”和“碳中和”背...

  • 2022

    4-2

    2022年3月5日,第十三屆全國人民代表大會第五次會議的政府工作報告中提到:“圍繞國家重大戰(zhàn)略部署和“十四五”規(guī)劃,適度超前開展基礎(chǔ)設(shè)施投資。建設(shè)重點水利工程、綜合立體交通網(wǎng)、重要能源基地和設(shè)施,加快城市燃?xì)夤艿赖裙芫W(wǎng)更新改造,完善防洪排澇設(shè)施,繼續(xù)推進(jìn)地下綜合管廊建設(shè),中央預(yù)算內(nèi)投資安排6400億元。”燃?xì)獍踩c人們生產(chǎn)生活息息相關(guān),已成為城市應(yīng)急管理工作的頭等大事。四方光電掌握非分光紅外(NDIR)、可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜(TDLAS)、電化學(xué)等多種核心技術(shù)平臺及應(yīng)用,...

  • 2022

    3-11

    如果你去買車或者驗車,常聽到國六標(biāo)準(zhǔn)的說法,汽車銷售們還會告訴你盡量要買符合國六B的車型。你可能會好奇:什么是國六A、國六B?國六B又是通過什么樣的標(biāo)準(zhǔn)和測試設(shè)備檢測出來的呢?在國產(chǎn)化替代的今天,有沒有國產(chǎn)的測試設(shè)備能夠支持國六B排放標(biāo)準(zhǔn)的測試呢?本文將帶您全面了解,什么是國六?什么樣的裝備能夠全面支持國六B測試?在國六B標(biāo)準(zhǔn)趕超歐6標(biāo)準(zhǔn)的當(dāng)下,咱國產(chǎn)的測試裝備是否也可*替代進(jìn)口?國六A和國六B國六標(biāo)準(zhǔn),即“國家第六階段機動車污染物排放標(biāo)準(zhǔn)”,主要涉及以下四個標(biāo)準(zhǔn),史上較嚴(yán)的...

  • 2022

    3-9

    環(huán)境污染一直都是大家關(guān)注的焦點問題,為了緩解機動車排放帶來的大氣污染,近年來世界各國都在爭相發(fā)展新能源汽車。雖然新能源汽車都得到了長足的發(fā)展,但是現(xiàn)階段以汽油、柴油為燃料的內(nèi)燃機的應(yīng)用仍然占據(jù)主導(dǎo)地位。怎樣有效地控制汽車污染,仍然是全球關(guān)注且亟待解決的問題。為了給環(huán)境保駕護(hù)航,全球范圍內(nèi)各項環(huán)保法規(guī)和標(biāo)準(zhǔn)相繼出臺。對我國而言,環(huán)境保護(hù)部、國家質(zhì)檢總局等相關(guān)部門也針對發(fā)動機排放檢測制定了標(biāo)準(zhǔn),確定了排放限值和檢測方法,同時也對相關(guān)的儀器技術(shù)提出了新的需求。鑒于此,各大儀器廠商在...

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