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半導體行業微量氧分析儀的自主研發與技術創新

一、半導體制造中氧監測的重要性與難點在半導體制造過程中,氧污染會引發不必要的氧化反應,導致集成電路和硅片產生缺陷,進而破壞薄膜結構的完整性,嚴重影響產品的均勻性與可靠性。因此,半導體制造商必須對工藝氣體及設備腔室中的氧含量進行嚴格監控,即便是微量氧氣(低至ppm級)也可能顯著損害元件性能。目前,半導體工藝氣體中的氧監測主要面臨以下技術難點:需實現10ppm以下超低濃度氧的精確檢測;需支持真空環境下的持續氧濃度監測;需在還原性氣氛中確保設備安全穩定運行。在眾多氣體檢測技術中,氧...

  • 2024

    5-24

    半導體產能不斷擴張,配套設備需求提升加速隨著電子信息產業的迅速發展,中國半導體行業市場規模也從2017年的1315億美元增長至2022年的1820億美元。基于半導體產業國產化進程不斷加快,下游晶圓廠也在不斷擴張,中國芯片制造商預計2024年將新開18座晶圓廠,產能將從760萬片推升至860萬片。在半導體國產化趨勢下,國內晶圓廠的擴張也有望帶動半導體配套設備的國產替代需求,將隨著晶圓工廠的擴產持續增加。顆粒污染影響產品品質,半導體制造潔凈度要求高根據國際半導體設備制造商協會(S...

  • 2023

    4-25

    燃氣安全監測四方光電致力于燃氣安全解決方案的研究。在*安全監測領域,利用自主掌握的紅外氣體傳感器技術等核心氣體傳感器技術優勢,實現各種燃氣用氣場景的全天候精準檢測,及時捕捉燃氣泄漏信息,同步完成報警器報警、燃氣泄漏信息傳輸、及自動切斷燃氣閥門,守護燃氣用氣安全。可實現:■燃氣使用過程中的準確報警,不誤報,不漏報;■使用壽命長達10年以上,免維護,更省心、省力、省錢;■抗硅中毒、抗乙酸、乙醇干擾,數據精準度更高;■抗高油煙、高溫,更符合中國式廚房環境。在燃氣泄漏檢測方面,四方光...

  • 2022

    11-15

    9月28日,中國人民銀行宣布為貫徹落實國務院常務會議關于支持經濟社會發展薄弱領域設備更新改造的決策部署,設立了2000億元以上設備更新改造專項再貸款,政策面向教育、實訓基地、節能降碳改造升級、新型基礎設施等十個領域。四方光電股份有限公司(688665.SH)旗下全資子公司四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡稱“四方儀器”)是一家專業提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業,基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優勢,開發了系列非分光紅外(NDIR)、非分光紫外(NDUV)、紫外差...

  • 2022

    11-14

    天然氣、沼氣以及工業生產中可燃氣體的高效利用對節能減排具有十分重要的意義。準確測量可燃氣體成分及熱值并自動優化控制燃燒過程是提高燃燒效率和控制排放污染的重要途經。天然氣等碳氫燃料的氣體成分分析主要依賴氣相色譜法,但該方法的響應時間達90s以上,往往不能滿足大多數場合的實時控制應用需求。中國人民銀行于9月設立2000億元以上設備更新改造專項再貸款,旨在貫徹落實國務院常務會議關于支持經濟社會發展薄弱領域設備更新改造的決策部署。四方光電股份有限公司(688665.SH)旗下全資子公...

  • 2022

    11-14

    內燃機工業是我國重要基礎產業,也是節能減排的重點領域。近年來,我國已經頒布和實施了GB18352.6-2016(輕型車國六)、GB17691-2018(重型車國六)和GB20891-2014的2020年修改單(非道路移動機械國四)等移動源新生產車排放法規以及GB18285-2018(汽油車)、GB3847-2018(柴油車)和GB36886-2018(非道路移動機械)等在用車排放法規。其中帶領內燃機行業技術發展的是新生產車排放法規,該法規體系中要求的高精度發動機排放檢測設備,...

  • 2022

    11-14

    實現碳達峰碳中和是國家做出的重大戰略決策。通過監測數據可以預測未來的氣候變化趨勢和評價生態系統碳循環對全球變化的響應與適應特征,為“雙碳”目標的達成提供參考數據,為現代地球系統科學、生態與環境科學關注的重大科學問題提供研究依據。碳通量在線監測網絡主要包含土壤溫室氣體通量測量和大氣環境渦度協方差測量系統兩種方法。中國人民銀行于9月設立2000億元以上設備更新改造專項再貸款,旨在貫徹落實國務院常務會議關于支持經濟社會發展薄弱領域設備更新改造的決策部署。四方光電股份有限公司(688...

  • 2022

    7-19

    2022年3月5日,第十三屆全國人民代表大會第五次會議的政府工作報告中提到:“圍繞國家重大戰略部署和“十四五”規劃,適度超前開展基礎設施投資。建設重點水利工程、綜合立體交通網、重要能源基地和設施,加快城市燃氣管道等管網更新改造,完善防洪排澇設施,繼續推進地下綜合管廊建設,中央預算內投資安排6400億元。”燃氣安全與人們生產生活息息相關,已成為城市應急管理工作的頭等大事。四方光電掌握非分光紅外(NDIR)、可調諧半導體激光吸收光譜(TDLAS)、電化學等多種核心技術平臺及應用,...

  • 2022

    7-19

    近日,由于上海某隔離酒店使用了回風+新風混合進行空氣調節,全建筑通風系統僅一個通風道,導致病毒通過空氣循環在公共空間內傳播,多人交叉感染,引發大家關注。疫情當下,新風系統的運行狀態不容忽視,從公共建筑,到家居環境,四方光電用傳感守護,讓您的一呼一吸更加舒適、健康、智能!室內空氣品質大多數人超過90%的時間在室內度過,室內空氣品質與人類健康的相關性日益明顯。場所內人員的活動造成CO2濃度持續升高,高濃度二氧化碳對人體造成的危害不容小覷。節能降碳綠色發展在“碳達峰”和“碳中和”背...

  • 2022

    7-19

    如果你去買車或者驗車,常聽到國六標準的說法,汽車銷售們還會告訴你盡量要買符合國六B的車型。你可能會好奇:什么是國六A、國六B?國六B又是通過什么樣的標準和測試設備檢測出來的呢?在國產化替代的今天,有沒有國產的測試設備能夠支持國六B排放標準的測試呢?本文將帶您全面了解,什么是國六?什么樣的裝備能夠全面支持國六B測試?在國六B標準趕超歐6標準的當下,咱國產的測試裝備是否也可*替代進口?國六A和國六B國六標準,即“國家第六階段機動車污染物排放標準”,主要涉及以下四個標準,更嚴格的國...

  • 2022

    7-19

    根據“2會”期間公布的2020年政府工作報告,今年要實現單位國內生產總值能耗和主要污染物排放量繼續下降;深化重點地區大氣污染治理攻堅;要打好藍天、碧水、凈土保衛戰,實現污染防治攻堅戰階段性目標。2020年是打贏藍天保衛戰、“十三五”規劃的全面收官之年,我國大氣污染治理進入攻堅“深水期”,剩下的都是難啃的“硬骨頭”。作為一直以來的重點和難點,揚塵污染治理已然成為大氣污染防治目標完成與否的關鍵點之一。揚塵治理,需對癥下藥;而把脈問診,監測為先。高性能的揚塵傳感器對實現揚塵全面監測...

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